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碳化硅氧化炉 真空退火炉 高温扩散炉 青岛晨立电子有限公司

品牌
晨立
所在地
山东省 青岛市 即墨市
商品参数
型号: CL; 产品别名: 晨立; 用途: 扩散,氧化; 适用行业: 工业; 产品用途: 扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺; 规格: CL-4511
商品参数
  • 型号
    CL
  • 产品别名
    晨立
  • 用途
    扩散,氧化
  • 适用行业
    工业
  • 产品用途
    扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺
  • 规格
    CL-4511
  • 电压
    220V
  • 电流
    20
  • 使用行业
    工业和各大技术院校
青岛晨立电子有限公司
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商品详情

产品信息

品牌:晨立
型号:CL-4514
用途:用于扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺
扩散炉用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

扩散工艺的主要用途是在高温条件下对半导体晶圆进行掺杂,即将元素磷、硼扩散入硅片,从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分

布,以便建立起不同的电特性区域。

低压磷扩散利用低压氛围可以得到更好的方块电阻均匀性和更大的生产批量。

氧化工艺是使硅片表面在高温下与氧化剂发生反应,生长一层二氧化硅膜。

氧化方法有干氧和湿氧,湿氧包括水汽氧化和氢氧合成两种。

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