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58000.00/台

高温氧化炉 科研退火炉 青岛晨立电子有限公司

品牌
晨立
所在地
山东省 青岛市 即墨市
商品参数
型号: CL系列; 产品别名: 扩散炉; 用途: 扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺; 适用行业: 工业; 产品用途: 扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺; 规格: CL-4514
商品参数
  • 型号
    CL系列
  • 产品别名
    扩散炉
  • 用途
    扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺
  • 适用行业
    工业
  • 产品用途
    扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺
  • 规格
    CL-4514
  • 温度范围
    400~1280℃
  • 电压
    380V
  • 电流
    24kw
  • 工艺管数量
    1-4管
青岛晨立电子有限公司
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商品详情
卧式6寸退火炉供大规模集成电路、MEMS 生产线用做6"硅片的合金、氧化、退火、烧结、扩散等工艺使用。同时也可下沉工艺,完成4寸wafer 的相应工艺。
一、设备结构:
1、操作方式:左(右)手操作方式
2、硅片尺寸:圆形6寸片
3、工艺布局:满足客户工艺要求

4、自动化程度:工控机控制系统自动控制工艺流程
5、送取片方式:手动进出舟。
6、外形:主机1台,主机架为卧式两管。
二、主要技术参数:
1、加热炉管有效口径:满足6英寸硅片。可向下兼容5寸和4寸硅片。
2、工作温度范围:上管:600~1400℃
下管:200~500℃
3、恒温区长度及精度:600mm,
上管:800-1400℃.±0.2℃/24h
下管:200-500℃.±0.2℃/24h
4、控制方式:由工控机统一管理工艺
5、气路设置:每管两路气体:氮气100L/min.氩气100L/min。均采用MFC自动控制流量大小。





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