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高温氧化炉 科研炉 实验炉 青岛晨立电子有限公司

品牌
晨立
所在地
山东省 青岛市 即墨市
商品参数
型号: CL; 加工定制: 是; 用途: 扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺; 别名: 扩散炉; 规格: CL-4514-1; 使用温度: 1200℃
商品参数
  • 型号
    CL
  • 加工定制
  • 用途
    扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺
  • 别名
    扩散炉
  • 规格
    CL-4514-1
  • 使用温度
    1200℃
  • 电压
    380
  • 电流
    24
  • 适用行业
    工业
青岛晨立电子有限公司
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商品详情


科研炉是半导体加工中的典型热处理设备,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。



主要技术参数:
◆工艺管数量:1-4管
◆工艺管口径:Φ90-360mm(3~12英寸)
◆工作温度范围:400~1280℃
◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm
◆工艺均匀性:≤±5%(30~60欧姆)

◆结构型式:卧式热壁型
◆气体流量设定精度:±1%F.S
◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s
◆超净工作台:净化等级:100级(万级厂房)噪音:≤62dB(A)震动:≤3μm
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
◆控制方式: 工业微机控制


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