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| 电浆控制电源部规格 | |||
| 1 | 尺寸（宽x长x高) | 370mm×470mm×140mm | 详细规格参附件(机箱风扇处预留30-50MM便于机箱散热） |
| 2 | 重量 | 13kg | |
| 3 | 需求电源 | AC220V,50-60Hz,3wire单相+接地线、5A | 接地电阻＜0.5欧姆 |
| 4 | 等离子输出功率 | N2：100--250W CDA(压缩空气）：100W--250W可调 | 可使用功率视实际条件而定 |
| 5 | 电浆有效直径 | 2mm-5mm | 可定制10MM视条件及样品而定 |
| 6 | 工作进气接头 | 4×6mm Connector | 连接至主气源 |
| 7 | 冷却气体接头 | 4×6mm Connector | 连接至主气源 |
| 8 | 气体使用量 | N2: 20±2L/min CDA:26±2L/min | 视条件及样品而定 |
| 9 | 气体压力 | 4.20±0./kg/cm | |
| 10 | 配置空间 | 放置在通风良好（环境温度小于30度）的地方。保留左右及上方有150mm以上散热的空间，保留后方有150mm的线路空间 | |
| 电浆照射部规格 | |||
| 1 | 尺寸（H) | 33mm×215mm | 详细规格参附件 |
| 2 | 重量 | ＜0.3kg | |
| 3 | 电源部-照射部距离 | 2.6m | |
| 其他规格 | |||
| 1 | 有效清洁范围 | 2-5mm(可定制宽屏） | 视条件及样品而定 |
| 2 | 处理速度 | 50-300mm/sec | 视样品而定 |
| 3 | 处理距离 | 与待清洁物距离4mm | 视样品而定 |
| NO | 项目 | 规格 | 备注 |
| 1 | 电浆需求电源 | AC220v,50-60Hz,3Wire单相3线，5A | 地线＜0.5欧姆 |
| 2 | N2/ CDA | 纯度：99.95%. 压力：4.20±0../kg/cm 流量：20±2L/min 入口 PU 管管径：6mm×4mm 气体含油量：＜0.003ppm 气体含水量：露点＜-23°C | |
| 3 | 排气 （抽气罩客户自行准备） | 需在电浆喷射下方及周围设置抽风罩 一般厂务排气，大气排放排气量1000L/min | 电浆可能产生臭氧、NOx.、CO2等废气，请作好废气排放，避免人员暴露于废气环境中 |
| 4 | 避免干扰问题 | 1、电浆与PC 分别独立电源 2、电浆设置需距离 PC 主机与屏幕 30cm 以上 |
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