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程控高低温扩散炉-扩散炉定制 青岛晨立电子

品牌
晨立
所在地
山东省 青岛市 即墨市
商品参数
型号: cl; 加工定制: 是; 用途: 对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金; 别名: 扩散炉; 工作温度: 200-1300; 可处理硅片尺寸: 2-8英寸
商品参数
  • 型号
    cl
  • 加工定制
  • 用途
    对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金
  • 别名
    扩散炉
  • 工作温度
    200-1300
  • 可处理硅片尺寸
    2-8英寸
  • 结构
    1-4管
青岛晨立电子有限公司
店内推荐
商品详情
程控高低温扩散炉
外型形式:卧式1—4管结构 程控高低温 扩散炉主要满足半导体电力电子器件行业、大功率集成电路等行业,对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。
主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。
技术指标:
可处理硅片尺寸:2—8英寸
工作温度:200℃—1300℃
恒温区长度及精度:200mm—1100mm≤±0.5℃
单点温度稳定性、重复性:≤±1.5℃/24h
温度斜变:可控升温速率20℃/min,可控降温速率:5℃/min
送片装置:全自动悬臂推拉舟、拉杆是推拉舟、手动推拉
气路系统:1—5路工艺气体/管
气体控制:全自动MFC、手动浮子流量计
控制方式:工控机、触摸屏


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