半导体行业耐腐蚀O形圈　日本全氟醚材料

全氟弹性体（FFKM）制成的 O 形圈，其耐热性高达 350°C。 并将开始销售使用这种新材料和新制造方法的半导体制造设备用 O 形圈。 生产商和经销商 Air Water Mach 将于 2018 年 9 月开始供应样品，并于 2019 年 1 月开始批量生产。

　Air Water Mach 是 O 形圈的综合制造商，O 形圈被用作各种工业机械等的密封材料。可用作 O 形圈材料的橡胶的特点是具有的弹性、良好的压缩变形、耐磨性、的耐热性和较长的使用寿命，且不会受到所应用液体或气体的影响。 然而，没有一种材料能满足所有这些条件，因此有必要选择一种适合 O 形圈应用的材料。 特别是半导体制造设备中使用的 O 形圈，会暴露在各种类型的等离子体中，并在恶劣的化学环境下使用，因此要求具有较高的耐热性、耐化学性和耐等离子体性。
　Air Water Mach 是一家生产和加工全氟弹性体（FFKM）高性能 O 形圈的公司，以 R. Pororoca 技术品牌生产和销售半导体制造设备用 O 形圈。