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项目 | 技术参数 |
外观尺寸 | 760500500mm |
X、Y运动行程 | 200200mm |
Z轴可调行程 | 50mm |
有效测量范围 | 160*160mm |
扫描MIN步距 | 5um |
MAX扫描速度 | 30mm/s |
检测重复精度 | ≦0.5m |
电源 | AC220V±10% |
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