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硅铝喷涂靶材 高纯4~6NSiAI靶材 玻璃镀膜材料 可定制

品牌
拓吉泰
所在地
安徽省 合肥市 肥西县
商品参数
单位: 米; 纯度: 3N; 种类: 旋转靶
商品参数
  • 单位
  • 纯度
    3N
  • 种类
    旋转靶
安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司
商品优选
商品详情
喷涂硅铝靶材 Spray SiAl Target
产品说明Product description
以等离子体为热源,在大气环境下通过一定的气氛保护装置,将Si+Al粉末加热到熔融或半熔融状态并高速冲击背管表面形成致密涂层,从而制备出高纯度、低氧含量、高致密度SiAl靶材。
With plasma as the heat source, high purity, low oxygen content, high density SiAl targets are produced by using Si and Al powders. The starting Si /span>Al powders are heated to molten or semi-molten state with the protection of certain atmosphere and sprayed on the surface of backing tube at high speeds to form dense coatings.
项目 Item参数 Specifications检测手段
Testing method
纯度 Purity99.9%
Al含量 Al Content8-10%
密度 Density2.2 g/cm3
杂质含量 ImpuritiesFe: 350 ppm
Ca: 50 ppm
Cu: 50 ppm
Mg: 20 ppm
Ni: 20 ppm
O: 6000 ppm
N: 500 ppm
杂质总和(ON除外): 1000 ppm
Total impurity (excluding O, N)
ICP
氧氮分析仪
Oxygen and nitrogen ana lyzer
电阻率 Electrical resistivity50 mΩcm 四探针电阻率仪
Four-probe resistivity meter
背管材质 Backing tube
-选用304/316L不锈钢(无磁)

304/316L stainless steel (non-magnetic)


靶材尺寸Dimension
-按照图纸要求加工
According to customized drawings

应用领域Applications
-用于制作SiO2膜、Si3N4膜,主要用于光学玻璃AR膜,LOW-E镀膜玻璃,半导体电子器件,TFT-LCD,平面显示,触摸屏玻璃。
For deposition of SiO2 sub>3N4 films, which are used for AR films of optical glasses, LOW-E glasses, electronic devices, TFT-LCD, flat panel screens, touch screen glasses.



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