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德国OEG公司成立于1991,设计制造高端精密的光学和半导体领域。
主要产品:MTF测试系统
光学测量工作站OTS 200
精密金刚石划片机MR200
Flatscan晶圆平整度应力和表面曲率测量仪
电子准直镜
晶圆线宽和特征尺寸测量仪
接触角/表面张力/表面自由能测量仪
更多产品信息请来电咨询。
光学非接触表面测量仪,能进行大范围的2D和3D测量,可测量晶圆应力(薄膜应力),表面半径曲率和斜坡。
TTV,Bow, Warp.
FLATSCAN:主要用于各种像硅、镜片、金属和聚合物等反射表面的非接触测量,可测量平整度、表面曲率、平均半径和应力。光学测量原理保证了高精度,是通过测量垂直入射束的反射角,表面状态能通过测量点发射角的改变精确测量。
就行业而言,是通过镀膜前后的对半径的计算测量应力。
大测量的范围:测量直径最大200mm
高测量精度:0.1arcsec, 100nm
选件:2D3D测量
技术参数:
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