太阳能电池等离子刻蚀机

产品特点 

   用于太阳能电池硅片边缘刻蚀制程，采用独特的高密度等离子(ICP)，刻蚀速率高，全进口配置组装。 >> 技术参数

 ◆ 外形尺寸(不包括报警灯)  

1350(W)×800(D)×1750(H)mm

 ◆ 仓体结构(铝，约125升)

500(W)×500(D)×500(H)mm

 ◆ 旋转平台

Φ 400mm ，转速可调节

 ◆ 等离子发生器(美国)

频率13.56MHZ,功率0-1250W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作

 ◆ 控制系统

触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式

 ◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)

前级泵/ 英国爱德华爪式干泵 GV80

二级泵/ 英国爱德华罗茨泵  EH250(70L/S)  

美国MKS真空压力控制节流阀及薄膜式传感器      

台湾气动真空角阀、充气阀、DN63不锈钢真空波纹管 

 ◆ 充气系统

美国MKS高精度电子质量流量计(四路气体配制)

美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀

日本SMC及CKD高真空气阀组件